表面電阻測試儀注意事項及測試原理

表面電阻測試儀注意事項: 

1,壓下探頭時,壓力要適中,以免損壞探針;

2,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時應(yīng)對一個樣品多測幾個點,然后取平均值;

3,樣品的實際電阻率還與其厚度有關(guān)還需查附錄中的厚度修正系數(shù)進(jìn)行修正。

表面電阻測試儀測試原理:

當(dāng)四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時,在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V(如圖所示).根據(jù)公式可計算出材料的電阻率:其中,C為四探針的探針系數(shù)(cm),它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.

二,儀器操作:(一)測試前的準(zhǔn)備:

1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開關(guān)置于斷開位置;

2,工作方式開關(guān)置于"短路"位置,電流開關(guān)處于彈出位置;

3,將手動測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;

4,對測試樣品進(jìn)行一定的處理(如噴沙,清潔等);

5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測試要求.

(二)測試:首先將電源開關(guān)置于開啟位置,測量選擇開關(guān)置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時.

1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開關(guān)置于"測量"位置,極性開關(guān)置于開關(guān)上;

2,選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍?數(shù)字顯示基本為"0000",若末位有數(shù)字,可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)旋鈕使之顯示為"0000";

3,將工作方式開關(guān)置于"I調(diào)節(jié)",按下電流開關(guān),旋動電流調(diào)節(jié)旋鈕,使數(shù)字顯示為"1000",該值為各電流量程的滿量程值;

4,再將極性開關(guān)壓下使數(shù)顯也為1000±1,退出電流開關(guān),將工作方式開關(guān)置于1或6.28處(探頭間距為1.59mm時置于1位置,間距為1mm時置于6.28位置); (調(diào)節(jié)電流后,上述步驟在以后的測量中可不必重復(fù);只要調(diào)節(jié)好后,按下電流 開關(guān),可由數(shù)顯直接讀出測量值.)

5,若數(shù)顯熄滅,僅剩"1",表示超出該量程電壓值,可將電壓量程開關(guān)撥到更;

6,讀數(shù)后,將極性開關(guān)撥至另一方,可讀出負(fù)極性時的測量值,將兩次測量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值.